сокр. от diffusion under (epitaxial) film диффузия под эпитаксиальную пленку, диффузия для создания скрытого слоя
DUF
Англо-русский перевод DUF
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997