сокр. от low-pressure chemical vapor deposition химическое осаждение из паровой [газовой] фазы при пониженном давлении
LPCVD
Англо-русский перевод LPCVD
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997