микротехнология; микрообработка (напр. микролитография) - E-beam microfabrication - ion beam microfabrication - ultraviolet microfabrication - X-ray microfabrication
MICROFABRICATION
Англо-русский перевод MICROFABRICATION
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997