трёхэлектродная установка (ионного) распыления, установка триодного ( ионного) распыления
TRIODE SPUTTERER
Англо-русский перевод TRIODE SPUTTERER
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997