(microelectromechanical systems) микроэлектромеханические системы, технология MEMS фотолитографическая технология, позволяющая изготавливать кремниевые микросхемы с крошечными механическими элементами - интеллектуальные устройства (микромашины) с самыми разными функциями. В качестве известных примеров можно назвать имплантируемые кардиостимуляторы и дефибрилляторы см. тж. NEMS
MEMS
Англо-русский перевод MEMS
Пройдаков Э.М., Теплицкий Л.А.. English-Russian explanatory dictionary of terms and abbreviations of computer engineering, Internet and programming. Англо-Русский толковый словарь терминов и сокращений по ВТ, Интернету и программированию. 1998-2004