разрешающая способность в нанометрах, разрешающая способность исчисляемая в нанометрах; нанометрическая точность
NANOMETER RESOLUTION
Англо-русский перевод NANOMETER RESOLUTION
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003