сокр. от plasma-assisted chemical vapor deposition химическое осаждение паров или газов в плазменной среде
PACVD
Англо-русский перевод PACVD
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003