нанесение распылением, нанесение вещества распылением; напыление
SPUTTER-DEPOSITION
Англо-русский перевод SPUTTER-DEPOSITION
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003