субнанометрическое разрешение, разрешение в долях нанометра
SUBNANOMETER RESOLUTION
Англо-русский перевод SUBNANOMETER RESOLUTION
Воскобойников Б.С.. Modern English-Russian dictionary of mechanical engineering and industrial automation. Современный Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003