микротехнология; микрообработка (напр. микролитография) E-beam lelectron-beami microrfabrication ion beam microrfabrication ultraviolet microrfabrication X-ray microrfabrication
MICRORFABRICATION
Англо-русский перевод MICRORFABRICATION
New large English-Russian dictionary . Новый большой Англо-Русский словарь. 2011