(напр. перемещение лазерного луча с целью отжига полупроводниковых пластин больших размеров) laser scanning
ЛАЗЕРНОЕ СКАНИРОВАНИЕ
Русско-английский перевод ЛАЗЕРНОЕ СКАНИРОВАНИЕ
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. Русско-Английский словарь по машиностроению и автоматизации производства. Russian-English dictionary of mechanical engineering and manufacturing automation. 2003