ALIGNER

1) авто установочный штифт 2) электрон. установка совмещения (и экспонирования): установка литографии 3) вчт. согласователь (элементов структуры данных) 4) оргтех. строкоустановитель • - card aligner - contact aligner - direct-step-onto-wafer aligner - electron-beam aligner - mask aligner - projection mask aligner - projection aligner - proximity aligner - step-and-repeat aligner - wafer aligner - wafer-stepping aligner - web aligner