1) авто установочный штифт
2) электрон. установка совмещения (и экспонирования): установка литографии
3) вчт. согласователь ( элементов структуры данных )
4) оргтех. строкоустановитель
•
- card aligner
- contact aligner
- direct-step-onto-wafer aligner
- electron-beam aligner
- mask aligner
- projection mask aligner
- projection aligner
- proximity aligner
- step-and-repeat aligner
- wafer aligner
- wafer-stepping aligner
- web aligner