геттерирование с помощью нарушенного слоя на обратной стороне (полупроводниковой) пластины
BACKSIDE DAMAGE GETTERING
Англо-русский перевод BACKSIDE DAMAGE GETTERING
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997