диодное (ионное) распыление со смещением (с подачей небольшого отрицательного напряжения на подложку)
BIAS DC SPUTTERING
Англо-русский перевод BIAS DC SPUTTERING
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997