1) электронно-лучевой испаритель 2) электронно-лучевая установка (для) напыления
ELECTRON-BEAM EVAPORATOR
Англо-русский перевод ELECTRON-BEAM EVAPORATOR
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997