1) подача и транспортировка полупроводниковых пластин 2) обработка полупроводниковых пластин
WAFER HANDLING
Англо-русский перевод WAFER HANDLING
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997