формирование (скрытого) изображения рисунка ( в фоторезисте ), нанесение рисунка - area patterning - electron-beam patterning - linear patterning - optical patterning - submicrometer patterning
PATTERNING
Англо-русский перевод PATTERNING
Драгальчук Е.. English-Russian dictionary of computer terms. Англо-Русский словарь компьютерных терминов. 2012