формирование (скрытого) изображения рисунка (в фоторезисте ), нанесение рисунка - area patterning - electron-beam patterning - linear patterning - optical patterning - submicrometer patterning
PATTERNING
Англо-русский перевод PATTERNING
English-Russian dictionary of computers . Англо-Русский словарь по компьютерам. 2012