отжиг радиационных дефектов ( отжиг дефектов, обусловленных ионной имплантацией )
ION IMPLANTATION DAMAGE ANNEALING
Англо-русский перевод ION IMPLANTATION DAMAGE ANNEALING
English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation 2. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства 2. 2003