отжиг радиационных дефектов (отжиг дефектов, обусловленных ионной имплантацией)
ION IMPLANTATION DAMAGE ANNEALING
Англо-русский перевод ION IMPLANTATION DAMAGE ANNEALING
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003