отжиг многократным сканированием электронным пучком
MULTISCAN ELECTRON BEAM ANNEALING
Англо-русский перевод MULTISCAN ELECTRON BEAM ANNEALING
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003