сканирующая головка, сканирующая измерительная головка, измерительная головка непрерывного контакта (с контролируемой или измеряемой поверхностью)
SCANNING PROBE
Англо-русский перевод SCANNING PROBE
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003