измерительная сетка, изготовленная фотолитографией
PHOTOLITHOGRAPHICALLY PRODUCED GRATING
Англо-русский перевод PHOTOLITHOGRAPHICALLY PRODUCED GRATING
Воскобойников Б.С.. Modern English-Russian dictionary of mechanical engineering and industrial automation. Современный Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003