1) (полупроводниковая пластина) с эпитаксиальным слоем 2) подложка с эпитаксиальным слоем
EPITAXIAL WAFER
Англо-русский перевод EPITAXIAL WAFER
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997