эпитаксиальное выращивание (кристаллов) из паровой (газовой) фазы в вакууме
EPITAXIAL VACUUM GROWTH
Англо-русский перевод EPITAXIAL VACUUM GROWTH
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997