обратная связь по положению (рабочего органа) от лазерного интерферометра
LASER-INTERFEROMETER POSITION FEEDBACK
Англо-русский перевод LASER-INTERFEROMETER POSITION FEEDBACK
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997