1) вакуумный испаритель 2) вакуум-выпарной аппарат 3) установка (для) напыления, установка (для) термовакуумного испарения
VACUUM EVAPORATOR
Англо-русский перевод VACUUM EVAPORATOR
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997