1) осаждение из паровой (газовой) фазы 2) вакуумное осаждение; вакуумное напыление 3) вакуумная металлизация
VAPOR-PHASE DEPOSITION
Англо-русский перевод VAPOR-PHASE DEPOSITION
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997