подповерхностный (находящийся на определённой глубине) легированный слой
DOPED UNDERLYING REGION
Англо-русский перевод DOPED UNDERLYING REGION
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation. Англо-Русский словарь по машиностроению и автоматизации производства. 2003