(отжиг дефектов, обусловленных ионной имплантацией) ion implantation damage annealing
ОТЖИГ РАДИАЦИОННЫХ ДЕФЕКТОВ
Русско-английский перевод ОТЖИГ РАДИАЦИОННЫХ ДЕФЕКТОВ
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. Русско-Английский словарь по машиностроению и автоматизации производства. Russian-English dictionary of mechanical engineering and manufacturing automation. 2003