(напр. дефектного слоя с поверхности обработанной детали) sputter-removing
УДАЛЕНИЕ РАСПЫЛЕНИЕМ
Русско-английский перевод УДАЛЕНИЕ РАСПЫЛЕНИЕМ
Воскобойников Б.С., Митрович В.Л.. Русско-Английский словарь по машиностроению и автоматизации производства. Russian-English dictionary of mechanical engineering and manufacturing automation. 2003