технология (изготовления) МОП ИС с самосовмещёнными поликремниевыми затворами
POLYSILICON SELF-ALIGNED TECHNOLOGY
Англо-русский перевод POLYSILICON SELF-ALIGNED TECHNOLOGY
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997