последовательное шаговое экспонирование на пластину; последовательное шаговое мультиплицирование на пластину
DIRECT WAFER STEPPING
Англо-русский перевод DIRECT WAFER STEPPING
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997