напыление тонкоплёночных покрытий; осаждение тонкоплёночных покрытий
THIN FILM DEPOSITION
Англо-русский перевод THIN FILM DEPOSITION
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997