1) запись
2) ввод ( данных )
3) электрон. формирование рисунка; экспонирование ( резиста )
•
- direct writing
- electron-beam writing
- ion-beam writing
- physical writing
- step-by-step writing
- wafer writing
1) запись
2) ввод ( данных )
3) электрон. формирование рисунка; экспонирование ( резиста )
•
- direct writing
- electron-beam writing
- ion-beam writing
- physical writing
- step-by-step writing
- wafer writing
Big English-Russian polytechnic dictionary . Большой Англо-Русский политехнический словарь. 1997