1) электронно-лучевая запись 2) электронно-лучевое формирование рисунка; электронно-лучевое экспонирование
ELECTRON-BEAM WRITING
Англо-русский перевод ELECTRON-BEAM WRITING
РУССО. Big English-Russian polytechnic dictionary Russo. Большой Англо-Русский политехнический словарь РУССО. 1997