1) технология (изготовления) ИС с уменьшенными размерами элементов
2) субмикронная технология, технология (изготовления) ИС с субмикронными размерами элементов
1) технология (изготовления) ИС с уменьшенными размерами элементов
2) субмикронная технология, технология (изготовления) ИС с субмикронными размерами элементов
Big English-Russian polytechnic dictionary . Большой Англо-Русский политехнический словарь. 1997